本申請涉及樣品檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種調(diào)平裝置及檢測設(shè)備。該調(diào)平裝置包括：底板和至少兩個柔性鉸鏈機構(gòu)；底板具有至少兩個支撐部，至少兩個支撐部沿底板的周向間隔相同距離設(shè)置；沿底板的軸向，柔性鉸鏈機構(gòu)具有相對的底部和頂部，每個柔性鉸鏈機...

本申請?zhí)峁┝艘环N照明鏡頭和光學設(shè)備。光學設(shè)備包括激光源和照明鏡頭。激光源用于發(fā)射激光，照明鏡頭用于供激光源發(fā)射的激光透過，并向樣品面投射線條光斑。照明鏡頭包括非球柱面鏡和柱面鏡；非球柱面鏡的入光面為非球柱面，非球柱面的母線沿第一方向；柱...

本申請實施例公開了一種晶圓圖像掃描方法、裝置、終端設(shè)備和可讀存儲介質(zhì)，上述方法包括：檢測承載在運動臺上的待掃描晶圓的晶圓離焦高度，以獲得對待掃描晶圓進行追焦的基準高度；基于晶圓對焦校準數(shù)據(jù)中包括的各個特征點的位置信息生成第一運動軌跡，并...

本申請實施例公開了一種晶圓圖像處理方法、裝置和晶圓掃描系統(tǒng)，方法包括在基于光源對目標晶圓進行照明的情況下，控制相機對目標晶圓以行掃描方式進行多次批量掃描。每次批量掃描包括以行掃描的方式掃描一行或多行像素以獲取本次批量掃描的原始掃描圖像，...

本申請實施例公開了一種互鎖電路、電子設(shè)備和互鎖系統(tǒng)，上述互鎖電路包括：互鎖輸入模塊、控制模塊、二極管矩陣和互鎖輸出模塊；互鎖輸入模塊用于在檢測到互鎖觸發(fā)信號時，通過互鎖輸入模塊的第一輸出端輸出第一輸出信號，并通過互鎖輸入模塊的第二輸出端...

本申請實施例公開了一種量測設(shè)備的圖像采集系統(tǒng)和方法，上述系統(tǒng)包括：第一離焦確定模組，用于確定目標物的第一離焦量；第二離焦確定模組，用于確定目標物的第二離焦量；第一移動控制模組，用于根據(jù)第一離焦量控制量測物鏡與目標物在第一方向上相對移動以...

本申請涉及磁集成器件和變換器，磁集成器件包括第一磁芯、第二磁芯、第一磁柱至第四磁柱、兩個第一繞組及兩個第二繞組；第一磁芯和第二磁芯間隔設(shè)置，第一磁柱至第四磁柱均固定連接于第一磁芯和第二磁芯之間；第一磁柱的橫截面的面積與第二磁柱的橫截面的...

本申請實施方式提供一種用于夾持工件的夾持裝置、承載設(shè)備及半導(dǎo)體檢測系統(tǒng)。夾持裝置包括氣浮卡盤、自鎖凸輪及夾爪，自鎖凸輪安裝于氣浮卡盤的一側(cè)，氣浮卡盤背離自鎖凸輪的一側(cè)用于吹出氣體以使工件懸浮在氣浮卡盤背離自鎖凸輪一側(cè)的上方。自鎖凸輪設(shè)有...

本申請實施例公開了一種耦合器及電子設(shè)備，該耦合器可包括：接地層、多個介質(zhì)層、以及相互耦合的主傳輸線和耦合線。其中，主傳輸線包括層疊設(shè)置的多條第一信號線，如此設(shè)置，可以將主傳輸線設(shè)置為多層信號線結(jié)構(gòu)，保證主傳輸線的通流與阻抗性能，提高耦合...

一種調(diào)節(jié)組件，涉及精密運動臺技術(shù)領(lǐng)域，其中，調(diào)節(jié)組件包括沿第一方向依次設(shè)置的連接架、底座、第一滑塊和第二滑塊；調(diào)節(jié)組件還包括第一滑動機構(gòu)和第二滑動機構(gòu),第一滑動機構(gòu)連接底座和第二滑塊，底座和第二滑塊通過第一滑動機構(gòu)在第二方向產(chǎn)生相對位移...

本申請?zhí)峁┮环N調(diào)平裝置、調(diào)平設(shè)備和調(diào)平設(shè)備的調(diào)平方法，可以實現(xiàn)高效調(diào)平。調(diào)平裝置包括底板、多個柔性調(diào)平件、承載件和多個調(diào)平緊固件，底板具有第一面，多個柔性調(diào)平件均安裝于第一面，每一柔性調(diào)平件可沿柔性調(diào)平件的高度方向發(fā)生彈性變形，每一柔性...

本申請公開了一種晶圓對焦系統(tǒng)，包括：追焦傳感器、對焦控制器、光電采集板、精調(diào)電機和電機控制器；對焦控制器用于從追焦傳感器獲取目標晶圓的離焦高度模擬信號以生成并輸出預(yù)測合焦位置模擬信號至電機控制器；電機控制器用于基于預(yù)測合焦位置模擬信號控...

本申請?zhí)峁┝艘环N調(diào)平裝置及機械設(shè)備，調(diào)平裝置包括底座、被調(diào)板和調(diào)平組件。沿第一方向，底座與被調(diào)板間隔相對，調(diào)平組件設(shè)置于底座與被調(diào)板之間。調(diào)平組件包括驅(qū)動件和連接件，沿第一方向，驅(qū)動件的一端連接底座，驅(qū)動件的另一端連接被調(diào)板，連接件的一...

本申請涉及光學設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置。反射結(jié)構(gòu)具有容納槽，容納槽具有第一側(cè)壁、第二側(cè)壁和與所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁連接的底壁，所述第一側(cè)壁包括第一拋物面，所述第二側(cè)壁包括第二拋物面，所述底壁包括第三...

本申請實施例提供一種深紫外物鏡及光學系統(tǒng)。所述深紫外物鏡包括前組透鏡及后組透鏡；所述前組透鏡靠近物面設(shè)置，所述前組透鏡具正屈光度；所述后組透鏡具負屈光度。所述前組透鏡包括折射透鏡與至少一個衍射光學元件，以消除色差。

本申請?zhí)峁┮环N光束變換裝置及光學加工設(shè)備，光束變換裝置用于對第一光束進行光束變換，其中，光束變換裝置包括沿第一光束光軸設(shè)置的衍射光學模組和折射光學模組，上述衍射光學模組和折射光學模組用于共同對第一光束進行光束變換，輸出第二光束，其中，第...

本申請實施例提供一種具有偏振選擇功能的偏振分束裝置，該偏振分束裝置包括波片和偏振分束鏡，波片的出射端面與偏振分束鏡的入射端面膠合，此時波片與偏振分束鏡之間沒有間隙。其中，波片用于對入射光的偏振方向進行調(diào)整，并向偏振分束鏡輸出線偏振光。進...

本申請涉及工藝處理設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室。該進氣分流器包括分流器本體；分流器本體具有第一端面、第二端面以及位于第一端面和第二端面之間的側(cè)面；分流器本體設(shè)置有換向通道和導(dǎo)流通道，換向通道連通于側(cè)面與第一...

本申請涉及工藝處理技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種工藝腔室及工藝處理設(shè)備。該工藝腔室包括腔體和載盤，腔體具有沿第一方向分布的反應(yīng)腔和支撐腔，載盤可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于腔體內(nèi)，載盤的轉(zhuǎn)動中心平行于第一方向。腔體設(shè)置有基板裝載通道、氣體導(dǎo)入通道以及氣體導(dǎo)出通...

本申請實施例提供了一種物鏡鏡頭和光學設(shè)備。光學設(shè)備包括光源和物鏡鏡頭。物鏡鏡頭包括前鏡組和后鏡組，從物側(cè)到像側(cè)，前鏡組與后鏡組依次排布；前鏡組具有正光焦度，后鏡組具有負光焦度；前鏡組包括多個第一透鏡，多個第一透鏡中的至少一個第一透鏡具有...